压电薄膜是一种能够将机械变形转换成电能的特殊薄膜。在压电材料的作用下，它会产生极化，在极化作用下，会在薄膜表面形成正负电荷，从而增大电容。因此，压电薄膜在许多领域都有着广泛的应用。

关于压电薄膜，北京清析技术研究院可提供介电性能、耐候性、耐磨性、热收缩率、热封强度、雾度、表面质量、卷外观、宽度偏差、厚度偏差、热收缩率、光泽度、摩擦系数、电学性能检测、压电性能、交变湿热试验、重金属、脱色试验、热释电性能、铁电性能、氧气透过系数、水蒸气透过系数、防腐蚀性等检测项目。同时，北京清析技术研究院可对复合氮化铝压电薄膜、复合材料压电薄膜、聚偏氟乙烯柔性压电薄膜、压电薄膜、钙钛矿压电薄膜、铅压电薄膜、金刚石基压电薄膜等进行检测。

压电薄膜检测方法

1、介电常数测试

薄膜材料的介电常数是指在电场变化下，其形成的电位移与电场强度之比。介电常数一般用来描述对电场的响应能力。测试薄膜的介电常数需要利用介电恒定测试仪进行。测试时，将薄膜夹在两个电极片之间，通过恒定的电场和相应的电流来测量薄膜的电容和介电常数。

2、压电系数测试

压电系数是评估薄膜压电性能的重要参数，是指薄膜在外加机械应力作用下产生的极化强度与施加应力的比例。常规测试薄膜的压电系数方法包括两种，一种是间接测量法，另一种是直接测量法。间接测量法需要通过介电常数和电容值等多重计算来推导压电系数，而直接测量法则直接测量应力下的电感值和电容值，通过计算施加应力和电场之间的比值得出压电系数。

3、电机械耦合系数测试

电机械耦合系数是评估压电驱动器效果的重要参数，是指薄膜在外加电场下产生的机械应变与外加电场强度的比例。测试电机械耦合系数需要利用专门的电机械耦合测试仪。测试时，先将薄膜和负载嵌入夹具中，外加电压和相应的电流来测量薄膜的电容和电感值，然后通过应力传感器测量应变值，从而计算出电机械耦合系数。

压电薄膜检测标准举例

1、SJ 20717-1998 氧化锌压电薄膜规范

2、T/QGCML 658-2023 压电式薄膜压力传感器

3、BS IEC 62047-30:2017 半导体器件 微机电器件 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

4、BS IEC 62047-36:2019 半导体器件 微机电器件 MEMS压电薄膜的环境和介电耐受测试方法

5、IEC 62047-30:2017 半导体器件 - 微机电器件 - 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法

6、BS IEC 62047-37:2020 半导体器件 微机电器件 传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法

7、IEC 62047-36:2019 半导体器件微机电器件第36部分:MEMS压电薄膜的环境和介电耐受试验方法

8、IEC 62047-37:2020 半导体器件微机电器件第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

9、18/30383935 DC BS EN IEC 62047-37 半导体器件 微机电装置 第37部分 传感器应用MEMS压电薄膜的环境测试方法

以上就是关于压电薄膜检测的介绍，北京清析技术研究院提供分析、检测、测试、鉴定、研发等技术服务，已获得CMA、CNAS等资质证书。总院位于北京，在上海、广州、深圳、合肥、南京、成都、武汉等地区设立27家分院，工程师一对一咨询，寄样或上门任您选择，为您提供便利的检测服务。