等离子设备是指利用等离子体技术进行各种工业应用和科学研究的设备。等离子体是一种由部分或完全电离的气体组成的物质状态，其中自由电子和离子所带正、负电荷完全抵消，宏观上呈现中性电。这类设备广泛应用于多个领域，包括：

    工业加工。如等离子切割机，用于金属材料的加工；等离子弧切割机，利用高温等离子电弧对金属进行切割和加工；等离子清洗机，用于清洁和处理各种材料表面。

    科学研究。如离子束刻蚀设备，用于微细加工和半导体制造。

    显示技术。如等离子电视，利用等离子体进行图像显示。

这些设备通过不同的工作原理和方式，利用等离子体的特性进行材料加工、表面处理、科学研究等。

检测方法

1、气密性检测

气密性检测是检测等离子设备是否存在漏气现象的方法。等离子设备一般采用真空密封或者高压密封，因此等离子设备的气密性能是非常重要的。

在进行气密性检测时，需要使用氦检漏仪对等离子设备进行检测。将氦气喷入等离子设备内部，如果出现气体泄漏，则氦气检测器会提示漏气，从而确定漏气位置。

2、电气性能检测

电气性能检测是检测等离子设备电气连接是否正确、电器元件是否损坏的方法。等离子设备一般由高压电源、放电管、冷却系统等部分组成。

在进行电气性能检测时，需要使用数字万用表对电路进行检测。需要检测的内容包括电源输出电压、电流、等离子体产生器的电流、电压等等。

3、安全性能检测

安全性能检测是检测等离子设备是否存在安全隐患的方法。等离子体具有高温、高能量、强辐射等特点，因此在使用等离子设备时需要特别注意安全。

在进行安全性能检测时，需要检测等离子设备的接地是否良好、高压部分是否存在漏电、各种保护装置是否正常等等。

检测标准

1、GB/T 13535-1992 电热用等离子设备试验方法

2、KS C IEC 60680-2021 电热应用等离子设备的方法

3、KS C IEC 60680:2006 电热和电化学用等离子设备的试验方法

4、GSO IEC/TS 60680:2014 热电和电化学应用等离子设备的测试方法

5、KS C IEC 60519-5:2012 电热设备的安全.第5部分:等离子设备的安全规范

6、YY/T 1409-2016 等离子手术设备

7、KS C IEC 60680-2006(2021 电热用等离子体设备的测量方法