外延片电阻率检测,外延片检测机构
外延是半导体工艺当中的一种。在bipolar工艺中,硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层);然后在衬底上生长一层单晶硅,这层单晶硅称为外延层;再后来在外延层上注入基区、发射区等等。
清析技术研究院可提供相关检测服务,提供CMA/CNAS资质检测报告,实验室设施完备、强大的项目专家检测团队。
外延片检测范围
气相外延片、液相外延片、分子束外延片、硅外延片、半导体外延片、砷化镓外延片等。
外延片检测项目
外观尺寸、晶体结构、电学性质、电阻率、折射率、硬度、表面粗糙度、平整度、密度、化学成分、杂质含量等。
外延片检测周期
到样后7-10个工作日(可加急),会根据样品及其检测项目/方法有所变动,具体需咨询工程师。
外延片检测标准
GB/T 14139-2009 硅外延片
SJ 3242-1989 砷化镓外延片
SJ/Z 1610-1980 硅外延片缺陷图集
GB/T 14015-1992 硅-兰宝石外延片
GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片
SJ/T 11471-2014 发光二极管外延片测试方法
SJ 1550-1979 硅外延片检测方法
SJ 1549-1979 硅外延片(暂行)
SJ 20514-1995 微波功率晶体管用硅外延片规范
T/CASAS 003-2018 p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片
GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法
GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
外延片检测流程
1、沟通需求(在线或电话咨询);
2、寄样(邮寄样品支持上门取样);
3、初检(根据客户需求确定具体检测项目);
4、报价(根据检测的复杂程度进行报价);
5、签约(双方确定--签订保密协议);
6、完成实验(出具检测报告,售后服务);
以上是外延片检测的相关介绍,如有其他检测需求可以咨询实验室工程师帮您解答。
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