硅抛光片杂质检测,硅抛光片检测机构
硅抛光片是一种用于研磨和抛光硅片表面的工具,通常由聚氨酯材料制成,具有高硬度、耐磨损、精度高等特点。它在半导体和集成电路制造过程中起着至关重要的作用,主要用于硅片的研磨和薄化、表面平整化和光洁度提升、薄膜的去除和清洗等方面。
清析技术研究院可提供相关检测服务,提供CMA/CNAS资质检测报告,实验室设施完备、强大的项目专家检测团队。
硅抛光片检测范围
单面硅抛光片、双面硅抛光片、高速硅抛光片、硅单晶抛光片、碳化硅单晶抛光片等。
硅抛光片检测项目
材质成分、外观质量、尺寸精度、杂质含量、硬度、表面粗糙度、电导率、导热性、热膨胀系数、机械强度、
晶体完整性检测等。
硅抛光片检测周期
到样后7-10个工作日(可加急),会根据样品及其检测项目/方法有所变动,具体需咨询工程师。
硅抛光片检测标准
GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片
GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
GB/T 4058-1995 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
T/IAWBS 010-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
硅抛光片检测流程
1、沟通需求(在线或电话咨询);
2、寄样(邮寄样品支持上门取样);
3、初检(根据客户需求确定具体检测项目);
4、报价(根据检测的复杂程度进行报价);
5、签约(双方确定--签订保密协议);
6、完成实验(出具检测报告,售后服务);
以上是硅抛光片检测的相关介绍,如有其他检测需求可以咨询实验室工程师帮您解答。
北京清析技术研究院提供分析、检测、鉴定、研发等技术服务,已获得CMA、CNAS等资质证书。总院位于北京,在上海、广州、深圳、合肥、南京、成都、武汉等地区设立27家分院,工程师一对一咨询,寄样或上门任您选择,为您提供便利的检测服务。
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