SEM检测指的是使用扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）进行的一种检测方法。扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，它通过使用细聚焦的电子束扫描样品，使电子与样品相互作用，激发产生多种物理信息，如二次电子、背散射电子等。这些信息被收集、放大并通过成像系统获得样品的表面形貌观察。

SEM检测不仅可以观察样品的表面微观结构，还可以进行微区成分分析，包括元素分布和线分布等。此外，SEM通常配备X射线能谱仪（EDS），可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。这种检测方法广泛应用于化学、化工、医药、高分子材料、物理、环境科学等领域，对于科研和生产都具有重要作用。关于SEM，北京清析技术研究院可对如下进行SEM检测：

1、背散射电子

背散射电子主要测的是样品中入射的电子，通过散射后从上表面射出来的电子来测定样品表面不同取向、不同平均原子量的区域差别。

2、俄歇电子

俄歇电子主要测的是入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时，多余能量转移给外层电子，使外层电子挣脱原子核的束缚，成为俄歇电子。

3、微观结构分析

SEM主要测的是材料的微观结构，通过观察材料的微观形态和结构变化，可以了解材料的性质和性能，如晶体结构、晶粒尺寸、纤维结构等。通过SEM技术可以观察到材料的微观结构的变化，从而更准确地预测材料的性质和性能。

4、元素的定量分析

元素的定量分析主要通过能谱图中的光电子谱线强度来测定原子的相对浓度，通过测定能谱图中的光电子谱线强度可以得到元素的相对浓度。

5、表面失效分析

表面失效分析主要测的是材料表面的问题，如污染、异色、腐蚀、损伤等。通过这种分析，可以评估材料的耐久性、可靠性和安全性，以保证产品的质量和性能。

6、表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测

表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测是SEM测试的主要内容之一，通过观察表面的微观结构，可以获取颗粒的尺寸信息，进而评估颗粒的物理性质和性能。这种观察方法不仅可以提高颗粒的检测精度和效率，还可以为研究和应用提供基础数据。

7、表面形貌观察

表面形貌观察是SEM测试的主要内容之一，通过观察材料的表面特征，可以了解材料的性质和组成，如金属的延展性、光泽度、颜色等。通过这些表面形貌的观察，可以评估材料的性能和质量，以保证产品的质量和性能符合标准。

8、微薄镀层厚度测量

微薄镀层厚度测量是评估镀层质量的重要指标之一。通过测量镀层厚度，可以得到一个有关镀层性质和厚度的信息。其中，微薄镀层厚度测量可以提供关于镀层厚度分布的信息，这对于镀层设计和验证非常重要。因此，微薄镀层厚度测量是镀层制备和研究中重要测量手段。

9、C(含C)以后的元素

SEM主要测的是小于等于C的元素，也就是除了C以外的所有元素。通过SEM可以测定其他元素的存在，例如已知元素的原子序数、电子构型等信息，从而推断出它们的性质和行为。因此，SEM是一种重要的元素测试方法。

此外，还可对X射线、化合物的结构、电子显微图像分析、成分分析、表面化学性质测试、界面性质测试、元素的定性分析进行SEM的测试。

测试步骤

扫描电镜（SEM）的测试步骤通常包括以下几个阶段：

1、样品准备

首先，需要制备样品。这包括将样品固定在适当的载片上，如硅片，并进行清洗以去除任何可能干扰图像的杂质。样品清洗后，将其放置在六孔培养基中，以便在测试时保持位置稳定。接下来，根据样品的性质选择合适的稀释液进行稀释，并使用点涂技术将样品点在硅片上。样品点涂后，进行烘干处理。

2、样品上机

样品准备完成后，将其贴在样品台上，并确保样品位置紧凑有序。然后，进行喷金处理，以提高样品的导电性。喷金完成后，将样品台放入样品仓，并抽真空以确保样品处于高真空环境中。在样品仓内，调整样品台的高度，并打开电子束流进行测试。

3、测试操作

在测试过程中，首先在低倍率下寻找目标形貌，并使用不同的放大倍数和加速电压来获取不同细节的图像。在找到目标形貌后，可以继续在高倍率下测试，以获取更清晰的图像。如果需要，还可以进行局部放大和调节像散，以获得良好图像质量。测试完成后，保存图像数据，并进行能谱测试，以分析样品的化学成分。

这些步骤是扫描电镜测试的基本流程，具体的操作可能会根据样品的性质和实验的要求有所变化。

检测标准

1、GB/T 16840.6-2012 电气火灾痕迹物证技术鉴定方法 第6部分：SEM微观形貌分析法

2、ASTM E2809-22 在法医聚合物检验中使用扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱（SEM/EDS）的标准指南

3、ASTM E3309-21 用扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱法（SEM/EDS）报告法医底漆枪弹残留物（pGSR）分析的标准指南

4、DB13/T 2777-2018 基于SEM的行政许可服务公众满意指数测评方法

5、DIN ISO 16000-27:2014 室内空气. 第27部分: 采用SEM (扫描电子显微镜检查法) (直接方法) 对表面纤维落尘的测定 (ISO 16000-27-2014)

6、NF X43-404-27-2014 室内空气. 第27部分: 采用SEM (扫描电子显微镜检查法) (直接方法) 对表面纤维落尘的测定

7、ISO 16000-27:2014 室内空气. 第27部分: 采用SEM(扫描电子显微镜检查法) (直接方法)对表面纤维落尘的测定

以上就是关于SEM检测的介绍，北京清析技术研究院提供分析、检测、测试、鉴定、研发等技术服务，已获得CMA、CNAS等资质证书。总院位于北京，在上海、广州、深圳、合肥、南京、成都、武汉等地区设立27家分院，工程师一对一咨询，寄样或上门任您选择，为您提供便利的检测服务。