超纯水又称UP水，是指电阻率达到18兆欧姆平方厘米（25℃）的水。超纯水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，同时也没有人体所需的矿物质和微量元素，是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。超纯水是一般工艺很难达到的程度，为了研制超纯材料，需要应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术，是水处理领域中的一种高端产品，具有极高的纯净度和稳定性，适用于电子、化工、制药等多个领域，如集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，超纯水还是许多高灵敏科学应用（如HPLC、LC-MS、GC-MS、GFAAS、PCR和哺乳动物细胞培养以及临床分析仪器等）中关键的试剂。关于超纯水，北京清析技术研究院可提供如下检测项目：

超纯水的检测项目旨在评估水的纯净度和是否符合特定标准。常见的超纯水检测项目包括电阻率检测、微生物检测、水质检测、离子含量检测、二氧化硅检测、微量元素检测、吸光度检测、细菌总数检测、硬度检测、TOC(总有机碳)检测、耗氧量检测、微粒子检测、余氯检测、氯化物、硫酸盐、pH值检测等。

这些检测项目综合评估了水的电导率、化学成分、微生物污染程度等关键指标，确保超纯水符合其应用标准，如电子级超纯水、工业超纯水或医用超纯水等。

检测方法

超纯水的检测方法主要包括以下几种：

    电阻率法。通过测试水的电阻率值来分析水中的离子、溶解物等杂质含量。电阻率法适合于电导率小于1µS/cm的纯水、超纯水和高纯水的测试。

    电导率法。通过测试水的电导率值来分析水中的离子及其他杂质含量。相对于电阻率法，电导率法能检测到电导率高于1µS/cm的水质，检测的结果更为准确。

    TOC（Total Organic Carbon）法。通过检测水中总有机碳的含量来分析水的纯净度。这种方法通常用于溶剂、高纯水和超纯水的测试。

    BOD（Biochemical Oxygen Demand）法。常用于对水中生物活性物质的检测，通过反应测定水中生化需氧量的变化来评估水质。

    ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）法。一种高灵敏度的元素分析方法，适用于多种元素的定量分析，能够准确检测到极微量元素的存在。

除此之外，超纯水检测还包括颗粒检测、微生物检测、水质检测、标准离子含量、余氯检测、二氧化硅检测、微量元素检测、吸光度检测、细菌总数检测、硬度检测等。具体可以根据检测需求和资源选择合适的检测方法或多种方法的组合使用。

检测标准

超纯水的检测标准包括多个指标，以确保其极高的纯净度和适合多种应用。以下是超纯水的一些主要检测标准：

    电导率。超纯水的电导率应低于0.056μS/cm，这表明其离子浓度极低。

    总有机碳(TOC)。超纯水中有机物的含量应非常低，一般要求TOC不超过50 ppb。

    总硅含量。硅在一些应用中可能成为污染物，超纯水的硅含量应低于20 ppb，在某些情况下甚至要求低于1 ppb。

    微生物。超纯水中不应含有任何微生物，如细菌和病毒，以确保其应用于工业生产过程中的安全性和可靠性。

    电阻率。超纯水的电阻率应大于18.2兆欧（25摄氏度），这是其纯净度的一个重要指标。

此外，超纯水的检测标准还包括对pH值、溶解氧、颗粒物等指标的严格限制。在实际应用中，如半导体工业等对水质要求极高的领域，还可能根据具体的线宽要求调整水质标准。超纯水的检测通常需要使用各种仪器，如电导率计、TOC分析仪、质谱仪等，以确保水样达到指定的标准。