三氯氢硅，化学式为SiHCl3，是一种无色的液体，具有刺激性气味，易燃且易爆。三氯氢硅在空气中能迅速水解，产生白色的氯化硅沉淀，该化合物在化学工业中具有广泛的应用，主要用于制备高纯度硅、有机硅化合物等，其别称包括硅氯仿、三氯硅烷。它的相对分子质量为135.45，在CAS(国际化学文摘杂志)中的编号为10025-78-2。三氯氢硅的分子由78.52%的氯(Cl)、0.74%的氢(H)和20.73%的硅(Si)组成。

关于三氯氢硅，北京清析技术研究院可提供杂质测定，浓度测定，含量测定，总碳测定，沸点，熔点，闪点，折射率，稳定性，蒸气密度，蒸气压，刺激性，急性毒性，组分测定，硼含量测定，msds报告编写，燃烧热测定，理化性质测定等检测项目。同时，北京清析技术研究院可对空气三氯氢硅，硅外延三氯氢硅，电子级三氯氢硅，多晶硅三氯氢硅等进行检测。

检测方法

1、电感耦合等离子质谱法

这种方法首先将三氯氢硅储存在TCS储液罐中，通过压力差将其压入缓冲罐，然后从缓冲罐压入反应罐。在反应罐中，三氯氢硅与水反应生成硅化物和盐酸，同时金属杂质与氯离子反应生成金属氯化物。提取反应物后，使用电感耦合等离子质谱进行分析，通过分析氯和金属的量，可以计算出三氯氢硅的纯度。

2、吸收-比色法

这种方法使用50%(V/V)乙醇吸收空气中的三氯氢硅，然后在酸性条件下使被分解后的硅与钼酸铵作用并还原成硅钼蓝。接着加入丁基罗丹明B在聚乙烯醇增溶剂存在下形成稳定的离子缔合物，通过比色定量来检测三氯氢硅。

检测标准

三氯氢硅的检测标准包括以下几个方面：

1、GB/T 28654-2018：这是针对工业三氯氢硅的生产、质量控制和检验而制定的标准。它规定了工业三氯氢硅的技术要求、试验方法、包装、标记、运输、储存和质量证明等方面的内容。

2、GB/T 30652-2014：这是硅外延用三氯氢硅的标准。

3、GB/T 29056-2012：这是硅外延用三氯氢硅化学分析方法的标准，包括硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法。

4、YS/T 1059-2015：这是硅外延用三氯氢硅中总碳的测定标准，采用气相色谱法。

5、DB53/T 501-2013：这是多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定的标准，采用电感耦合等离子体质谱法。

6、DB53/T 499-2013：这是多晶硅用三氯氢硅的标准。

这些标准适用于工业生产中所需的三氯氢硅，是保障工业三氯氢硅产品质量和安全的重要标准。它们旨在规范工业三氯氢硅的生产、检验和应用过程，保证产品的质量和安全。

以上就是关于三氯氢硅检测的介绍，北京清析技术研究院提供分析、检测、测试、鉴定、研发等技术服务，已获得CMA、CNAS等资质证书。总院位于北京，在上海、广州、深圳、合肥、南京、成都、武汉等地区设立27家分院，工程师一对一咨询，寄样或上门任您选择，为您提供便利的检测服务。